檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：ICP等離子體刻蝕機（深硅）
- 價格型號：STS MPX HRM System
- 儀器分類：其它
- 應用領域：
- 所屬單位：中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
- 所在地點：
- 產(chǎn) 地：
- 產(chǎn) 商：STS
- 價 值：0
- 購置日期：0000-00-00
技術指標：溫度：0-80度，側(cè)壁垂直度：89°±1°。工藝氣體：He，SF6,C4F8,O2，Ar。 ICP功率：0-3000W，RF功率：0-300W
儀器用途：主要用于硅材料的高速，深度，大深寬比刻蝕。適用于六寸片及以下尺寸。刻蝕均勻性<±5%。
收費標準：450/30分鐘
機組負責人：張嬪 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
關于檢測通 | 服務項目 | 合作中心 | 資訊投稿 | 媒體聚焦 | 聯(lián)系我們 | 客服中心 | 網(wǎng)站地圖 | 友情鏈接
Copyright ? 2010-2016 生意寶檢測通 版權所有.浙ICP備14007955號
浙公網(wǎng)安備 33010602010408號
地址：浙江省杭州市莫干山路187號易盛大廈12F 郵政編碼：310012
客服QQ:2804879579 檢測通QQ群:檢測資源-詢盤、人脈 319379593
-
檢測通手機版 
檢測通官方微信
檢測通QQ群