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外延片外延層厚度檢測
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- 重摻雜襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測量方法 GB/T 14847-1993,用紅外反射法測量重摻雜硅襯底上輕摻雜硅外延層厚度的標準方法 SEMIMF 95-1107,重摻雜襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測量方法 GB/T 14847-2010,用紅外反射法測量重摻雜硅襯底上輕摻雜硅外延層厚度的標準方法 SEMI MF 95-1107
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