檢測認證人脈交流通訊錄
硅研磨片及拋光片電阻率及硅片徑向及電阻率變化檢測
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- 硅單晶電阻率測定方法GB/T1551-2009,半導體硅片電阻率及硅薄膜層電阻測定 非接觸渦流法GB/T 6616-2009,硅片徑向電阻率變化測量方法GB/T11073-2007,硅晶體中間隙氧含量紅外吸收測量方法GB/T 1557-2006
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