檢測認證人脈交流通訊錄
硅研磨片及拋光片氧、碳含量及氧含量檢測
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對應法規：
CNAS認可項目：是
- 用紅外吸收法測量硅中間隙氧含量的標準方法 SEMI MF1188-1107,硅晶體中間隙氧含量徑向變化測量方法GB/T 14144-2009,硅片中間隙氧含量徑向變化的標準測試方法 SEMI MF951-0305,硅中代（替）位碳原子含量紅外吸收測量方法GB/T1558-2009
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