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SEM（場發射掃描電鏡）：利用陰極所發射的電子束經陽極加速，由磁透鏡加速后形成一束直徑為幾十埃到幾千埃的電子束流，這束高能電子束轟擊到樣品表面會激發多種信息，經過分別收集，放大就能從顯示屏上得到各種相應的圖像。
EDS（能譜分析儀）：入射電子束可停留在被觀察區域上的任何位置.X射線在直徑1微米的體積內產生,可對試樣表面元素的分布進行質和量的分析，高能電子束轟擊樣品表面，激發各種信號。
可以對陶瓷、金屬、粉末、塑料等樣品進行形貌觀察及成分分析。
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