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氦氣純度

工業氦

項目名稱指標

氦氣純度：≥99%

氖（氫）、氧（氬）、氮、甲烷總含量，%≤1

水分含量，露點，≤-43℃

純氦

項目名稱指標

優等品一等品合格品

氦氣純度，%≥99.99599.99399.99

氖含量，ppm≤152540

氫含量，ppm≤357

氧（氬）含量，ppm≤355

氮含量，ppm≤101725

一氧化碳，ppm≤111

二氧化碳，ppm≤111

甲烷量，ppm≤111

水分含量，ppm≤101520

高純氦氣

氦氣純度>99.999%，

雜質含量（ppm）：

O2≤0.5，

N2≤1.0，

CO≤0.5，

CO2≤0.5，

CH4≤0.5，

H2O≤0.5，

Ne≤8.0；

超純氦氣

氦氣純度>99.9999%，

雜質含量（ppm）：

N2≤0.5，

O2≤0.5，

Ne≤0.5，

CO≤0.1，

CO2≤0.1，

THC≤0.1，

H2O≤0.2；