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X射線光電子能譜儀（XPS）
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X 射線光電子能譜 (XPS)，也被稱為化學分析電子能譜 (ESCA)，是分析材料表面化學性質的一項技術。 XPS 可測量材料中元素組成、經驗公式、元素化學價態和電子態。 用一束 X 射線激發固體表面，同時測量被分析材料表面 1-10 nm 內發射出電子的動能，而得到 XPS 譜。 通過對激發出的超過一定動能的電子進行計數，可以得到光電子譜。 光電子譜中出現的譜峰為原子中發射的一定特征能量電子。 光電子譜峰的能量和強度可用于定性和定量分析所有表面元素（氫元素除外）。
