SEMI S23-半導體制造設備能源，電力和原料的節能

標準介紹：

任何半導體制造設備在制造、包裝、運送、安裝、使用、維修與廢棄過程中使用的電力及原料都需要消耗能源，因此，在壽命周期內減少能源的使用可以改善半導體制造設備對環境的影響。SEMI S23作為半導體制造設備的能源、電力與原料節約分析的工具，提供了使用率及耗量降低的方法，并提出了改善的建議。

參考標準：

SEMI E6 — Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation

SEMI E10 — Specification for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM) and Utilization

SEMI S2 — Environment, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment

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