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檢測認證人脈交流通訊錄

表面形貌及微區(qū)成分分析利用掃描電子顯微鏡（SEM）+X射線能譜儀（EDS）可對各種固體表面進行形貌觀察，最大放大倍數(shù)可達30萬倍，同時利用特征X射線可對微區(qū)的成分進行定性半定量分析。在金屬、半導體、陶瓷、催化劑、礦物、玻璃、PCB板等相關表面形貌及微區(qū)成分分析方面得到廣泛應用。同時在零件斷口分析、表面異物分析等產(chǎn)品失效方面也發(fā)揮了關鍵性的作用。 SEM+EDS 特點 u SEM的二次電子成像分辨率約3nm u EDS成分分析的元素范圍Be（5）～U（92） u EDS分析深度約1μm u 元素檢測下限約1% u 空間分辨率約1μm 測試項目：? 固體材料表面的形貌觀察 ? 金屬零部件斷口形貌觀察 ? 粉末、微粒樣品形態(tài)和粒度的測定 ? 鍍層厚度測量 ? 固體材料表面、截面及微區(qū)成分 ? 表面異物，銹蝕，斑點分析 ? 樣品成分的線分布和面分布 ? 錫須觀察和測量適用產(chǎn)品和領域: 金屬、陶瓷、催化劑、礦物、玻璃、PCB板；滲氮、滲碳件，噴涂件，薄膜件；金相切片樣，表面異物，金屬斷口；粉末材料，生物醫(yī)學材料等

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劉文浩

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