深圳市威固特超聲波科技開發有限公司

非硅基芯片、微電子元件（是指在芯片上實現的電阻、電容、晶體管等）。還有一種說法是，微電子元件是指芯片中的線寬在一微米上下的器件，更小的稱作納米器件。

威固特專業做超聲波清洗機，在清洗芯片、微電子元件等產品上積累的經驗而言，得出不管是清洗前或者清洗中以及清洗完畢這個清洗工序，都需注重。因不管是哪個工序都得保證產品最后清洗的成品質量。

威固特一臺型號為VGT-12162FH半自動超聲波清洗機，為12個功能槽，配置了循環過濾系統、自動恒溫系統、拋動系統、電控裝置等組成。

VGT-12162FH半自動超聲波清洗機在清洗產品的前、中期配置的清洗系統為超聲水劑清洗槽、市水漂洗槽、純水噴淋漂洗槽、純水漂洗槽等都有各自的特點展示：

其一，每槽設四面溢流口，各槽均為獨立循環槽，由循環泵將洗劑由儲液箱抽出經過濾后再運回清洗槽，即字母槽循環。

其二，設置獨立循環系統。

其三，各槽底部設排液閥且互相串聯至洗劑排管（與純水總排管分開）。

其四，清潔溶液經循環泵重新抽入清洗槽，實現自我循環，提高溶液的利用率，而溢流液排放到總排管。

其五，設市水進口，可分別接至各洗槽及儲液箱。

其六，槽體左右側各設一排噴桿，每根噴桿均布4-5個噴嘴，噴淋泵由儲液槽中抽出液體經過濾后由噴嘴噴出，傾斜向下噴淋，且噴嘴為扇形，噴灑范圍更廣。

其七，槽底部設常開閥。

其八，設純水進口，設浮球閥控制自動補充純水。

VGT-12162FH半自動超聲波清洗機在清洗最后的烘干程序結構：

其一，槽面設齒狀溢流結構，純水由純水預熱箱進入，由槽體底部接入清洗槽內。槽外貼保溫棉厚10mm。

其二，外貼發熱板2KW，槽體設“OMRON”數顯溫控系統，檢測槽內工作溫度，溫控范圍：常溫～100℃。

其三，高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工藝和配置外，更需要良好的脫水效果。工件表面如果有任何垢點或積水點，最后都將導致清洗前期的失敗。高純水高溫慢拉脫水是芯片或者玻璃產品等高要求的是高精度清洗少不了的一道工序，有效的形成均勻的熱純水膜，迅速散失表面水份，實現表面高清潔度目的，為后續干燥奠定有利基礎。

其四，烘干槽外貼保溫棉，熱風從烘干槽四周進入，底部回風。

其五，出風口設有高溫高效過濾器及空氣加熱管。

其六，槽體上部設活動缸蓋。

其七，6KW空氣加熱管置于加熱包內。

其八，在烘干槽正上方的機架頂部設置一個FFU層流送風單元。由上往下吹形成的負壓風，致使工件加熱后附著物不易粘附。

其九，因慢拉槽液溫較高，如無頂部FFU的壓風，大量的水汽將往上騰，水汽會再次附著于提出的產品上，安裝FFU后，可在上方形成局部正壓，大部分水汽從缸面的抽氣口抽走。

其十，拋動電機通過偏心輪帶動連桿上下運動，從而實現拋動架帶動洗籃在清洗槽內作上下運動。運行穩定性好，噪聲小。

其十一，清洗過程中工件做均勻地拋動，可以增加工件與液體的摩擦，有利于表面污垢迅速脫落，提高清洗效果。