檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
LASERTEC 晶圓邊緣檢查設(shè)備 EZ300
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- 品 牌：
- LASERTEC
- 主要規(guī)格：
- コンフォーカル光學(xué)系による高コントラスト畫像を用いた欠陥検査 獨(dú)自のアルゴリズムによる凹凸判定を含めた自動(dòng)欠陥分類 欠陥種の特定?推測(cè)が容易となる、高解像度3D測(cè)定機(jī)能
- 用 途：
- インラインQCによるウェハ外周部の定量管理及び異常プロセス発生時(shí)の早期アラーム SPC（Statistical Process Control）によるウェハ外周部の不良チップ発生時(shí)の後追い解析 ウェハ外周部の欠陥による、歩留まり悪化原因の把握?解析
- 特長(zhǎng)
コンフォーカル光學(xué)系による高コントラスト畫像を用いた欠陥検査
獨(dú)自のアルゴリズムによる凹凸判定を含めた自動(dòng)欠陥分類
欠陥種の特定?推測(cè)が容易となる、高解像度3D測(cè)定機(jī)能
用途
インラインQCによるウェハ外周部の定量管理及び異常プロセス発生時(shí)の早期アラーム
SPC（Statistical Process Control）によるウェハ外周部の不良チップ発生時(shí)の後追い解析
ウェハ外周部の欠陥による、歩留まり悪化原因の把握?解析
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