檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
LASERTEC TSV背面拋光過(guò)程測(cè)量裝置 BGM300
- 這真不是您需要的產(chǎn)品？
- 品 牌：
- LASERTEC
- 主要規(guī)格：
- 獨(dú)自の干渉計(jì)とIR光學(xué)系の組み合わせを採(cǎi)用し、Via部の測(cè)定を?qū)g現(xiàn) 裏面研磨プロセスの研削前後両方において使用可能 TSV裏面研磨プロセスに最適なSolutionを提供
- 用 途：
- TSV裏面研磨プロセス前のSi厚さ/TSV深さの測(cè)定 TSV裏面研磨プロセス後のRemaining Si厚さ（RST）の測(cè)定 貼り合せウェハの接著層厚さ異常の把握 BSIイメージセンサウェハの裏面薄化時(shí)のシリコン厚さ測(cè)定
- 特長(zhǎng)
獨(dú)自の干渉計(jì)とIR光學(xué)系の組み合わせを採(cǎi)用し、Via部の測(cè)定を?qū)g現(xiàn)
裏面研磨プロセスの研削前後両方において使用可能
TSV裏面研磨プロセスに最適なSolutionを提供
用途
TSV裏面研磨プロセス前のSi厚さ/TSV深さの測(cè)定
TSV裏面研磨プロセス後のRemaining Si厚さ（RST）の測(cè)定
貼り合せウェハの接著層厚さ異常の把握
BSIイメージセンサウェハの裏面薄化時(shí)のシリコン厚さ測(cè)定
仕様
裝置サイズ 1,450mm（W）x 2,650mm（D）x 1,885mm（H）
対応基板サイズ φ300mm ウェハ
測(cè)定対象 TSV貼り合せウェハ,BSI 貼り合わせウェハ
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- [聯(lián)系時(shí)請(qǐng)說(shuō)明來(lái)自檢測(cè)通]
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- 江蘇蘇州市高新區(qū)竹園路7號(hào)中梁香緹商務(wù)廣場(chǎng)2棟1201室
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