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深圳京都玉崎株式會社

檢測認證人脈交流通訊錄

LASERTEC 光掩模缺陷檢測系統 MATRICS X700系列

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  • 品  牌:
  • LASERTEC
  • 主要規格:
  • hp45nmノード以降の最先端フォトマスクの欠陥検査?品質管理に最適な裝置 位相シフトマスク(EPSM、APSM)及びOPC(Optical Proximity Correction=光近接効果補正)マスクに対応 光源に自社開発の213nm全固體レーザーを搭載し、高感度欠陥検出を達成 OHT自動搬送との接続等フレキシブルなインターフェイスが可能(オプション)
  • 用  途:
  • 「フォトマスク欠陥検査裝置 MATRICS X700シリーズ」は、レーザー?光関連産業の発展に大きく貢獻したことが評価され、一般社団法人レーザー學會より、レーザー學會産業賞「奨勵賞」を受賞いたしました。
    • 特長 hp45nmノード以降の最先端フォトマスクの欠陥検査?品質管理に最適な裝置 位相シフトマスク(EPSM、APSM)及びOPC(Optical Proximity Correction=光近接効果補正)マスクに対応 光源に自社開発の213nm全固體レーザーを搭載し、高感度欠陥検出を達成 OHT自動搬送との接続等フレキシブルなインターフェイスが可能(オプション) 「フォトマスク欠陥検査裝置 MATRICS X700シリーズ」は、レーザー?光関連産業の発展に大きく貢獻したことが評価され、一般社団法人レーザー學會より、レーザー學會産業賞「奨勵賞」を受賞いたしました。 用途 ウェハファブにおけるフォトマスクの受入検査および定期検査、ヘイズ検査 マスクショップにおける出荷前検査(ペリクル貼り付け後も検査可能) 仕様 検査方式 マルチダイモード(アレイモード含む)、 シングルダイモード 及びこれらの複合検査 検査光 3モード(透過光、反射光、透過/反射同時照明光) 検出感度 最高感度25nm  ※検出感度は欠陥タイプ?検査方式により異なります 検査時間 105分 / 100mm2(ノーマルスキャン) 60分 / 100mm2(ファーストスキャン) マスクサイズ 6025

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