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密析爾Pura高純氣露點(diǎn)變送器 / 在線露點(diǎn)儀

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在很多純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對(duì)于過程處理的正常運(yùn)作重要。一直以來，對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測(cè)量露點(diǎn)值，下限低至-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。 Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和純氣體應(yīng)用的低位變送器。亮點(diǎn) 測(cè)量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV) 測(cè)量穩(wěn)定，重復(fù)性好集成的采樣裝置模擬和數(shù)字輸出安裝簡(jiǎn)便 VCR 過程接口設(shè)計(jì)緊湊小巧顯示/報(bào)警單元可選 Pura 技術(shù)指標(biāo) 傳感器傳感器類型密析爾陶瓷濕度傳感器量程 -120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C) 精度 ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) 分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C 壓力低 10-9 torr; 大 24 MPa 氣體流量 1 ~ 5 Nl/min 電氣電源通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大電流 25 mA 輸出 4-20 mA 輸出, 對(duì)應(yīng)范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供) 大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8) 輸出出錯(cuò)狀態(tài) 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 上限; 4 mA = 下限機(jī)械性能傳感器套筒不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內(nèi)拋光氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長(zhǎng), 氣路端口的端面密封. 不需要預(yù)留管路空隙底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對(duì)面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm 重量 Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g 包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作

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