3D干涉輪廓儀

3D干涉輪廓儀Nano X-2000是用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的一款檢測設(shè)備，既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。Nano X-2000表面微觀形貌儀建立在白光掃描干涉技術(shù)和移相干涉技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其較高的精密度和準(zhǔn)確度定性和定量地反映出被測件的表面粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。適用于半導(dǎo)體工藝、航空航天、MEMS、超精密加工等領(lǐng)域，在納米尺度進行超精細(xì)表面形貌的測量。

Nano X-2000三維表面微觀形貌檢測儀主要由精密載物臺、照明系統(tǒng)、光學(xué)干涉成像系統(tǒng)、實現(xiàn)移相運動的微位移系統(tǒng)、圖像采集系統(tǒng)及圖像數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。整個檢測儀放置在氣浮抗振平臺上。載物臺用于安放被測件，同時通過傾斜和XY二維平移調(diào)整使被測面準(zhǔn)確定位于感興趣的區(qū)域；光源及照明系統(tǒng)提供給被測面均勻又充分的反射式照明；干涉成像系統(tǒng)采用Mirau干涉物鏡結(jié)構(gòu)獲取被測表面干涉圖像；采用壓電陶瓷傳感器（PZT）實現(xiàn)微位移控制；通過CCD與自主開發(fā)的軟件系統(tǒng)采集并處理干涉圖像，獲得被測面的相位信息進而得到表面輪廓。

3D干涉輪廓儀優(yōu)勢：

• 覆蓋范圍廣： 兼容多種測量和觀察需求
• 保護性： 非接觸式光學(xué)干涉測量
• 可操作性：“一鍵式”操作更簡單
• 智能化：特殊形狀智能計算特征參數(shù)
• 個性化： 定制化測試報告；
• 更好用戶體驗： 迅捷的售后服務(wù)，個性化應(yīng)用軟件支持