常州市往復世佑高壓泵閥有限公司

牛津電子束鍍膜機

　　牛津電子束鍍膜機是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融后蒸發到所需基片上形成金屬膜。可蒸發很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產，臺式設計、軟件自動操控、高性價比，非常適合實驗室科研使用。　　牛津電子束鍍膜機技術規格：　　- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；　　- 基底旋轉：0~10rpm；　　- 電子束源：Telemark電子束源，單袋或多袋電子束源可選；　　- 熱蒸發源：多配置2套熱蒸發舟(選配)；　　- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；　　- 泵：前級干泵，分子泵；　　- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；　　- 工藝控制：PC/PLC機制的自動控制、數據處理、遠程支持；　　- 原位監控：石英晶振監測(QCM)，光學監測，殘余氣體分析，其他原位監測技術或控制；　　- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；　　- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉等；　　更多詳情請咨詢：http://www.shqiruikeji.com/SonList-2201899.html 　　https://www.chem17.com/st453789/erlist_2201899.html

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