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Aerotech ABRS-ABRT精密氣浮轉(zhuǎn)臺
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- Aerotech
- Aerotech ABRS-ABRT精密氣浮轉(zhuǎn)臺
1.Aerotech ABRS/ABRT精密氣浮轉(zhuǎn)臺概述
Aerotech 制造了龐大的精密旋轉(zhuǎn)平臺產(chǎn)品線供您選擇,型號包括使用我們自己的內(nèi)置無刷旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直驅(qū)轉(zhuǎn)臺,以及蝸輪蝸桿驅(qū)動(dòng)的定位轉(zhuǎn)臺。其中精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺包括精密空氣(氣浮)軸承直驅(qū)轉(zhuǎn)臺和精密機(jī)械軸承直驅(qū)轉(zhuǎn)臺。轉(zhuǎn)臺具有許多不同尺寸的通孔直徑、臺面直徑以及安裝選項(xiàng),為您的工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用提供理想的解決方案。平臺的擺動(dòng)、跳動(dòng)、角度定位和速度穩(wěn)定都非常出色。Aerotech 的定位平臺非常適合用于工業(yè)機(jī)器人、光纖光學(xué)和光子學(xué)、視覺系統(tǒng)、機(jī)床、裝配、半導(dǎo)體設(shè)備、醫(yī)護(hù)部件激光加工、超精密微細(xì)加工、硅片檢查、電子制造業(yè)、hang空電子設(shè)備等性能高應(yīng)用以及其他工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用。此外, Aerotech 制造的性能高驅(qū)動(dòng)器和控制器可與我們的直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺匹配,為您提供優(yōu)越的運(yùn)動(dòng)控制解決方案。
分辨率可達(dá) 0.027-5.5 arc-sec
雙向重復(fù)性小于 1 arc-sec
定位精度可達(dá) ±2 arc-sec
ABRT-400空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺 | ABRT-400 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRT-400精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺
ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準(zhǔn)系統(tǒng)的中心。ABRT-400 是一個(gè)大的具備納米級誤差運(yùn)動(dòng)性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周圍的花崗巖結(jié)構(gòu)的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過真空或空氣,并且實(shí)現(xiàn)電氣連接到被測裝置。
ABRT-400 可以用作高精度測量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)角度標(biāo)定,X射線衍射,蛋白質(zhì)晶體或高精度加工應(yīng)用。
Rotary Stage | ABRT-400精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺
ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準(zhǔn)系統(tǒng)的中心。ABRT-400 是一個(gè)大的具備納米級誤差運(yùn)動(dòng)性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周圍的花崗巖結(jié)構(gòu)的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過真空或空氣,并且實(shí)現(xiàn)電氣連接到被測裝置。
ABRT-400 可以用作高精度測量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)角度標(biāo)定,X射線衍射,蛋白質(zhì)晶體或高精度加工應(yīng)用。
特點(diǎn)規(guī)格
● 精度: < 0.6微弧度( < 0.12弧秒)
● zui小增量步距: 0.035微弧度( 0.007弧秒)
● 重復(fù)性: < 0.4微弧度( < 0.08弧秒)
● 軸向運(yùn)動(dòng)誤差: < 50納米同步; < 10納米異步
● 徑向運(yùn)動(dòng)誤差: < 75納米同步; < 10納米異步
空氣軸承旋轉(zhuǎn)主軸
ABRT-400是Aerotech的 μARC 角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準(zhǔn)系統(tǒng)的中心。ABRT-400是一個(gè)大的具備納米級誤差運(yùn)動(dòng)性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周圍的花崗巖結(jié)構(gòu)的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過真空或空氣,并且實(shí)現(xiàn)電氣連接到被測裝置。
ABRT-400可以用作高精度測量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)角度標(biāo)定,X射線衍射,蛋白質(zhì)結(jié)晶或高精度加工應(yīng)用。
ABRS系列空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺 | ABRS Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRS系列精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺
Aerotech 的 ABRS 系列旋轉(zhuǎn)空氣軸承平臺提供優(yōu)越的角度定位,速度穩(wěn)定性和低運(yùn)動(dòng)誤差性能在一個(gè)非常低矮的封裝結(jié)構(gòu)中。ABRS旨在滿足晶片檢查,高精度計(jì)量,X射線衍射系統(tǒng),光學(xué)檢查和制造,以及微機(jī)電系統(tǒng)/納米器件的制造等應(yīng)用的嚴(yán)苛要求。
Aerotech ABRS系列空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺提供出色的角度定位,速度穩(wěn)定性和無誤差運(yùn)動(dòng)性能,并且擁有非常低矮的外形。
● 直驅(qū)無刷無槽伺服電機(jī)
● 非機(jī)械接觸
● 零齒槽效應(yīng)電機(jī)帶來顯著的速度穩(wěn)定性
● 顯著的無誤差無抖動(dòng)運(yùn)動(dòng)特性
● 直接耦合的高精度編碼器
● 扁平設(shè)計(jì)的低矮外形
● 直徑:128.1-278.1 mm
● 分辨率: 0.036-0.18 arc-sec
● 雙向重復(fù)性:< 1 arc-sec
● 定位精度:±2 arc-sec
ARA1000空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺 | ARA1000 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ARA1000精密氣浮轉(zhuǎn)臺
Aerotech 的 ARA1000 旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器代表了顯著的突破性應(yīng)用,如平板顯示器處理加工所要求的大型有效載荷的聯(lián)接方式。高負(fù)載慣量多軸系統(tǒng)可能遭受機(jī)械不穩(wěn)定,限制整機(jī)生產(chǎn)效率。ARA1000 通過設(shè)計(jì),顯著提高了平臺剛性,消除了這個(gè)問題。ARA1000轉(zhuǎn)臺采用了標(biāo)準(zhǔn)的57.2毫米通孔,它可以很容易地穿過真空線路。臺面包括一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的安裝模式,其允許非常容易地進(jìn)行卡盤安裝。
Stage | ARA1000精密氣浮轉(zhuǎn)臺
Aerotech 的 ARA1000 旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器代表了顯著的突破性應(yīng)用,如平板顯示器處理加工所要求的大型有效載荷的聯(lián)接方式。高負(fù)載慣量多軸系統(tǒng)可能遭受機(jī)械不穩(wěn)定,限制整機(jī)生產(chǎn)效率。ARA1000 通過設(shè)計(jì),顯著提高了平臺剛性,消除了這個(gè)問題。ARA1000轉(zhuǎn)臺采用了標(biāo)準(zhǔn)的57.2毫米通孔,它可以很容易地穿過真空線路。臺面包括一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的安裝模式,其允許非常容易地進(jìn)行卡盤安裝。
特點(diǎn)規(guī)格
● 高承載能力
● 高剛性
● 直接驅(qū)動(dòng)無刷無槽伺服電機(jī)
● 大孔徑
● 與AVL1000升降平臺輕松配置多軸應(yīng)用
ABRS旋轉(zhuǎn)氣浮平臺
1專為高精密檢測,光學(xué)檢測及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2無刷無槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)
3突出的速度穩(wěn)定性(電機(jī)無接頭效應(yīng))
4優(yōu)越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng)
5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
7無機(jī)械接觸
臺面直徑128.1-278.1mm
分辨率0.18-0.036arcsec
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec
ABRT旋轉(zhuǎn)氣浮平臺
1專為高精密檢測,光學(xué)檢測及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2無刷無槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),高扭拒輸出
3突出的速度穩(wěn)定性(電機(jī)無接頭效應(yīng))
4優(yōu)越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng)
5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
6超大的空心軸徑,無機(jī)械接觸
臺面直徑100-200mm
分辨率0.055-0.027arcsec
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec
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