檢測認證人脈交流通訊錄
OSAKA磁懸浮分子泵TGkine-R系列產品型號：
TGkine2200M-R、TGkine3300M-R / TGkine3400M-R、TGkine3800M-R / TGkine4200M-R
產品特點：
■ 省電設計
■ 在真空泵本體中，可存儲設置參數，運轉數據及異常歷史等。
※即使在維護階段更換控制器，也可實現全數據轉移。
■ 支持多種通信接口規格 （兼容EtherCAT通信協定）
■ 適用于國際規格 CE/NRTL/SEMI-S2使用場合：
■ 半導體制造設備
■ FPD制造設備
■ 太陽能電池制造設備
■ 玻璃/鏡片等光學部件加工
■ 鍍膜工藝
■ 加速器/宇宙環境模擬器技術參數：
型號※1
TGkine3300M-R
TGkine3400M-R
吸氣口法蘭
VG300 / ISO-B320
VG350
排氣口法蘭※2
KF40 / KF50
排気速度
N2 (L/s)
3300
N(付帶金屬保護網) (L/s)
3100
H2 (L/s)
2700
最大壓縮比
N2
>1×108
H2
3×103
最大氣體流量※3、※4
N2 (sccm)
2600
Ar (sccm)
1900
起動時間
(min)
≦11
停止時間
(min)
≦13
到達壓力※5
(Pa）
<2×10-7
(Torr）
<1.5×10-9
最大排氣口壓力※6
(Pa)
110
(Torr）
0.82
推薦前級泵
(L/min)
≧2000
安裝方向
任意
質量
(kg)
64 / 65
67
更多訪問：
http://www.shycsm.net/Products-37038994.html
https://www.chem17.com/st519780/erlist_2368397.html
