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單晶爐過(guò)濾器濾芯

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　　單晶爐過(guò)濾器濾芯　　產(chǎn)品概述　　單晶爐過(guò)濾器濾芯　　單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)狻⒑鉃橹?環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。　　單晶爐的型號(hào)與命名：　　單晶爐過(guò)濾器濾芯單晶爐型號(hào)有兩種命名方式，一種為投料量，一種為爐室直徑。比如85爐，是指主爐筒的直徑大小，120、150等型號(hào)是由裝料量來(lái)決定的　　技術(shù)要求：　　1.單晶爐裝料量(單臺(tái)機(jī)產(chǎn)能多少) 　　2. 能拉多長(zhǎng)、幾寸的硅棒　　3. 拉制晶棒的成品率是多少　　4拉出硅棒品質(zhì)(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯(cuò)密度) 　　5設(shè)備制造工藝控制保證　　6自動(dòng)化控制程度 7設(shè)備主要關(guān)鍵部件的配置等。　　1、穩(wěn)定的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，增強(qiáng)了設(shè)備在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中的抗振動(dòng)能力。　　2、優(yōu)化的液壓提升機(jī)構(gòu)確保副爐室提升和復(fù)位時(shí)的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性。　　3、與主機(jī)分離的分水器設(shè)計(jì)，在減少冷卻水振動(dòng)對(duì)晶體生長(zhǎng)的影響的同時(shí)優(yōu)化了水路布局。　　4、晶體和坩堝的提升采用雙電機(jī)結(jié)構(gòu)，保證穩(wěn)定的低生長(zhǎng)速度以及坩堝和籽晶的快速定位。　　5、采用無(wú)振動(dòng)的高性能馬達(dá)和低噪聲的減速器驅(qū)動(dòng)晶體和坩堝上升，可提供穩(wěn)定的低生長(zhǎng)速度。　　6、設(shè)備的真空條件和在真空下的可控惰性氣體氣流使得熱區(qū)清洗**化。氧化硅可以在不污染晶體和晶體驅(qū)動(dòng)裝置的條件下排除。　　7、帶隔離閥的副室可以在熱區(qū)保持工作溫度的情況下，取出長(zhǎng)成的晶體或者更換籽晶。　　8、對(duì)惰性氣體流量和爐室壓力高精度的控制能力，為生長(zhǎng)高品質(zhì)單晶創(chuàng)造了條件。　　9、爐蓋和爐腔通過(guò)兩個(gè)提升裝置提升，很方便的轉(zhuǎn)向一邊快捷地清洗。　　10、熔化溫度通過(guò)對(duì)加熱器溫度的電控來(lái)維持和調(diào)節(jié)，加熱電源采用直流供電提高了控制精度。高品質(zhì)的加熱器溫度測(cè)量傳感器實(shí)現(xiàn)了精確的溫度控制。　　https://www.hbzhan.com/st603615/product_22452714.html 　　http://www.kailuote.cn/Products-22452714.html

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