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德國AlphaPlasma等離子去膠機應用列表

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　　Tergeo-Pro等離子系統未來將腔室直徑增加到9英寸（230毫米）。腔室的深度增加到13.4英寸（430毫米）。Tergeo-Pro等離子系統足夠大，可以容納8英寸晶圓。它也足夠大，可容納一兩個25/50槽6"或4"石英晶舟。Tergeo-Pro等離子系統可以具有150瓦、300瓦或500瓦的射頻功率。射頻功率可以以1瓦的間隔進行調整。射頻電源的頻率為13.56MHz，提供比KHz射頻等離子系統更高的等離子生成效率。Tergeo等離子系統不僅可以調整射頻功率，還可以產生連續或脈沖等離子。脈沖比可以從100%調整到小于1%。夸脫室壁結構可實現外部電容耦合射頻電極設計。　　Tergeo-Pro等離子清洗機的應用類似于較小的Tergeo等離子系統，不同之處在于它可以接受更大的樣品。以下是典型應用列表：　　光刻膠灰化、除渣和硅片清洗　　在引線鍵合、倒裝芯片底部填充、PCB去污之前清潔芯片　　生物醫用涂層前表面處理，提高醫用植入物的親水性　　環氧樹脂粘合前的光學元件、玻璃、光纖頭和基板清潔　　PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室　　改善金屬與金屬或復合材料的粘合　　改善塑料、聚合物和復合材料的粘合　　特征：　　大型樣品室（內徑：9英寸/230毫米，深度：13.4英寸/340毫米）。足以容納一個8英寸晶圓，一個或兩個25/50槽6"/4"石英晶圓舟。　　等離子放電法：電容耦合等離子放電與外部彎曲放電電極。　　連續和脈沖等離子體。脈沖比可以從100%（連續）更改為小于1%。Tergeo等離子系統不僅以1瓦的間隔調整射頻功率瓦數，而且還產生連續和脈沖等離子。改變等離子體強度超過幾個數量級。　　操作方式：自動配方執行；自動作業序列執行；手動操作。　　等離子傳感器：等離子強度傳感器實時監測等離子狀態，并為用戶提供不同配方條件下等離子強度的定量反饋。等離子傳感器還可以監測等離子灰化過程的進程并用作終點指示器。等離子強度實時顯示在液晶觸摸屏顯示器上。　　德國AlphaPlasma等離子去膠機如有需要歡迎訪問以下網址與我們取得聯系　　http://www.mycro.net.cn/mycro-SonList-935897/ 　　https://www.chem17.com/st119375/erlist_935897.html

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