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熱式氣體質量流量計的工作過程

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    •   氣體質量流量控制器(MassFlowController,簡稱MFC)是一種用于精確控制氣體流量的儀器。其工作原理如下:   一、基本結構   流量傳感器   MFC內部通常采用熱式質量流量傳感器。這種傳感器基于熱傳導原理工作。它有兩個溫度傳感器(RTD,電阻溫度探測器)和一個加熱元件。   加熱元件位于兩個溫度傳感器中間。當氣體流過時,帶走熱量,根據熱量傳遞的原理,氣體流速不同,帶走熱量的速度也不同,進而導致兩個溫度傳感器之間產生溫度差。   通過測量這個溫度差,可以計算出氣體的質量流量。   流量控制閥   MFC配有一個比例控制閥,通常是一個針閥或球閥。這個閥門可以精確地控制氣體的通過量。   閥門的開度由一個電磁驅動裝置控制,通過改變閥門的開度來調節氣體流量。   二、工作過程   測量流量   當氣體進入MFC時,首先經過流量傳感器。傳感器測量氣體的流量,并將流量信號轉換為電信號(如電壓或電流信號)。   這個電信號被發送到MFC的控制電路。   流量控制   MFC的控制電路將接收到的流量信號與設定值進行比較。如果測量流量與設定流量不一致,控制電路會向流量控制閥發送信號。   流量控制閥根據控制信號調整閥門開度。如果測量流量小于設定流量,閥門會開大;如果測量流量大于設定流量,閥門會關小。   這種反饋控制機制不斷循環,確保實際氣體流量與設定流量保持一致,從而實現精確的流量控制。   熱式氣體質量流量計如有需要歡迎訪問以下網址與我們取得聯系   http://www.szaitoly.com/Products-38721026.html   https://www.chem17.com/st627378/product_38721026.html

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