檢測認證人脈交流通訊錄
- 氣體質量流量控制器（MassFlowController，簡稱MFC）是一種用于精確控制氣體流量的儀器。其工作原理如下：
一、基本結構
流量傳感器
MFC內部通常采用熱式質量流量傳感器。這種傳感器基于熱傳導原理工作。它有兩個溫度傳感器（RTD，電阻溫度探測器）和一個加熱元件。
加熱元件位于兩個溫度傳感器中間。當氣體流過時，帶走熱量，根據熱量傳遞的原理，氣體流速不同，帶走熱量的速度也不同，進而導致兩個溫度傳感器之間產生溫度差。
通過測量這個溫度差，可以計算出氣體的質量流量。
流量控制閥
MFC配有一個比例控制閥，通常是一個針閥或球閥。這個閥門可以精確地控制氣體的通過量。
閥門的開度由一個電磁驅動裝置控制，通過改變閥門的開度來調節氣體流量。
二、工作過程
測量流量
當氣體進入MFC時，首先經過流量傳感器。傳感器測量氣體的流量，并將流量信號轉換為電信號（如電壓或電流信號）。
這個電信號被發送到MFC的控制電路。
流量控制
MFC的控制電路將接收到的流量信號與設定值進行比較。如果測量流量與設定流量不一致，控制電路會向流量控制閥發送信號。
流量控制閥根據控制信號調整閥門開度。如果測量流量小于設定流量，閥門會開大；如果測量流量大于設定流量，閥門會關小。
這種反饋控制機制不斷循環，確保實際氣體流量與設定流量保持一致，從而實現精確的流量控制。
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