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雙靶磁控濺射儀

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結(jié)構(gòu) （點擊圖片查看詳細資料）輸入電源 220VAC 50/60Hz, 單相 2000W (包括泵) 濺射電源安裝有兩個濺射電源直流（DC）電源：500W，針對于制作金屬膜射頻（RF）電源：600W，可制作氧化物和金屬膜同時可選配300W的射頻電源磁控濺射頭儀器中安裝有2個磁控濺射頭，而且都帶有水冷夾層，可通入冷卻水對靶材降溫其中一個濺射頭與射頻電源相連接，主要是濺射絕緣性靶材另一個濺射頭與直流電源相連接，主要濺射導電性靶材靶材尺寸要求：金屬靶：直徑為50mm,zui大厚度1.5mm 陶瓷靶：直徑為50mm,zui大厚度6mm 儀器中標配一個不銹鋼靶和氧化鋁陶瓷靶濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環(huán)水冷機）也可以根據(jù)自己的要求選擇2個射頻濺射頭或3個射頻濺射頭，訂購前需于本公司銷售人員真空腔體真空腔體：300 mm Dia x 300 mm h，采用不銹鋼制作觀察窗口： 100 mm diameter 腔體打開方式采用上頂開，使得換靶更加容易載樣臺載樣臺尺寸：140mm dia.（zui大可放置4"的基底）載樣臺可以旋轉(zhuǎn)，其速度為：1 - 20 rpm （可調(diào)）載樣臺zui高可加熱溫度為500℃，控溫精度為+/- 1.0 °C 氣體流量控制器儀器內(nèi)部安裝有2個質(zhì)量流量計量程為：0-200sccm 氣體流量設(shè)置可以在6英寸的觸摸屏上進行操作真空泵系統(tǒng) 配有一套分子泵系統(tǒng)（德國制作），采用一鍵式操作薄膜測厚儀一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實時監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 ? LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù) 外形尺寸 L1300mm× W660mm× H1200mm 重量 160 kg 質(zhì)保期一年質(zhì)保期，終生維護 https://www.chem17.com/st152911/erlist_1290255.html http://www.kjmti.com.cn/Products-24006809.html

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