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滑軌式PECVD

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小型滑軌式PECVD系統本設備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用，同時該設備可以用于碳納米管的生長。可制備出高質量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。滑軌式PECVD加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數，無須操作人員的干預，可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號，同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經驗的要求，關鍵電氣元件采用優質的進口產品，做到高性能、免維護，提高了設備質量的可靠性。 1、加熱系統最高溫度 1200℃ 使用溫度 ≤1100℃ 爐膛有效尺寸 Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據實際需要定制。）爐膛材料氧化鋁、高溫纖維制品熱電偶類型 K型熱電偶控溫精度 ±1℃ 控溫方式 30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為7”工控電腦，內置PLC控制程序。加熱長度 230mm 恒溫長度 100mm 加熱原件電阻絲供電電源單相，220V，50Hz 2、PE射頻電源功率輸出范圍 0W~500W 最大反射功率 100W 射頻輸出接口 50 Ω, N-type, female 功率穩定度 ≤5W 諧波分量 ≤-50dbc 供電電壓單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ 整機效率 >=70% 功率因素 >=90% 冷卻方式強制風冷 3、三路質子流量控制系統連接頭類型雙卡套不銹鋼接頭標準量程（N2) 50sccm，100sccm、500sccm（可根據用戶要求定制）準確度 ±1.5%F.S 線性 ±1%F.S 重復精度 ±0.2%F.S 響應時間氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍 0.1～0.5 MPa 最大壓力 3MPa 接口 Φ6,1/4'' 顯示 4位數字顯示工作環境溫度 5~45高純氣體壓力真空表－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格截止閥 Φ6 內外雙拋不銹鋼管 Φ6 https://www.chem17.com/st235110/product_36409892.html http://www.ahbeiyike.com/ParentList-684448.html

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