檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 蔡司MERLIN系列場發(fā)射掃描電鏡使用未來的實(shí)驗(yàn)室分析儀器
借助MERLIN系列場發(fā)射掃描電鏡,即可在數(shù)秒內(nèi)完成圖像采集,觀察清晰的原子級分辨率圖像及進(jìn)行完整的三維表面測量與分析。無論是配備性能出色GEMINI I鏡筒的入門型MERLIN Compact電鏡,或是配備高分辨率GEMINI II鏡筒的型MERLIN電鏡,MERLIN系列均是未來穩(wěn)固投資的*之選:場發(fā)射掃描電鏡協(xié)助您更好地應(yīng)對未來工作中的各種挑戰(zhàn)。15個(gè)探測器端口和多個(gè)分析選擇,為用戶提供靈活性和擴(kuò)展性。
MERLIN系列易于擴(kuò)展,以適應(yīng)不斷增長的需求
MERLIN系列場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)可以采集高分辨圖像,做成份分析,獲取樣品全部信息。樣品室配有用于安裝探測器和多種分析功能選項(xiàng)的15個(gè)端口,協(xié)助您完成從圖像采集到完整的材料分析等一系列工作。根據(jù)應(yīng)用需求進(jìn)行功能擴(kuò)展:MERLIN系列具備全面的可升級性。
蔡司MERLIN系列場發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用無極限
使用原子力顯微鏡功能選項(xiàng),以原子級分辨率獲取半導(dǎo)體樣品的表面結(jié)構(gòu)信息。通過增加3View?超
微切機(jī)實(shí)現(xiàn)大體積生物樣本的三維重構(gòu)。MERLIN系列的平臺設(shè)計(jì)與智能化探測器技術(shù),隨時(shí)可借助即插即用擴(kuò)展功能實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)升級。開放式的系統(tǒng)軟件編程接口,可快速地整合市場上的分析解決方案。
全面便捷的樣品分析
MERLIN系列的整套探測系統(tǒng)由不同探測器組成:in-lens二次電子探測器用于高分辨率成像、能量選擇背散射探測器(EsB)用于低電壓成份襯度成像、in-lens duo探測器用于二次電子和背散射電
子成像,或角度選擇背散射探測器(AsB)用于晶體表面的結(jié)構(gòu)分析。適合對各種材料進(jìn)行單獨(dú)的分析,或與探測器信號一起獲取更豐富的圖像信息。這些只需根據(jù)應(yīng)用選配一個(gè)或多個(gè)探測器便可實(shí)現(xiàn)。
原子力顯微鏡:獲取深度圖像
如若需要進(jìn)行納米級表面成像,掃描電子顯微鏡(SEM)則是您的選擇。然而,所收集到的數(shù)據(jù)往往會缺失一些附加信息:表面三維結(jié)構(gòu)的呈現(xiàn),或者是在低于納米級的原子尺度上還需要什么信息?
整合了AFM功能的MERLIN系列讓這類問題迎刃而解。AFM系統(tǒng)可借助樣品臺更換功能在幾分鐘內(nèi)提供原子級表面形貌的三維圖像。由于AFM技術(shù)是在原子尺度上進(jìn)行校正的,可為掃描電子顯微鏡用戶提供所需分辨率。
與獨(dú)立的AFM系統(tǒng)相比,AFM/SEM的結(jié)合使用能提供更豐富的信息:SEM提供的高分辨率大面積預(yù)覽,可快速地將懸臂系統(tǒng)直接移至感興趣的區(qū)域。使用方便又高效。通過兩種方式的結(jié)合使用獲得更多的信息,例如通過AFM檢測電子束對半導(dǎo)體電勢的影響。
【技術(shù)參數(shù)】
分辨率:0.8nm 15kV
1.6nm 1kV
放大倍數(shù):范圍:12~2,000,000×
加速電壓:調(diào)整范圍:20 V~30 kV
探針電流:5 pA~20 nA(12pA—100nA可選)
樣品室:330(φ)x 270mm(h)
樣品臺:5軸優(yōu)中心全自動X=130 mm
Y=130 mm Z=50 mm
T=-3°-70°
R=360°連續(xù)
系統(tǒng)控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系統(tǒng),可選鼠標(biāo)、鍵盤、控制面板控制功能:掃描電鏡可對金屬、陶瓷、礦物、巖石、生物等樣品以及各種固體材料進(jìn)行觀察和分析研究。對各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面掃描和線掃描分布測量,晶體/晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測量。X-射線能量色散譜儀(EDS),可進(jìn)行微區(qū)的常量元素定性和定量分析。EBSD相關(guān)配件可以做t-EBSD花樣質(zhì)量圖、相分布圖、取向分布圖、制圖以統(tǒng)計(jì)晶粒大小、高角度分辨率t-EBSD分布圖檢測變形帶、同步采集EDS獲得Cu、Mg等元素分布圖、夾雜物等方面的分析。
目前,掃描電鏡及相關(guān)附件已完成了電鏡、EDS、EBSD等主要設(shè)備的安裝調(diào)試及培訓(xùn),后續(xù)將盡快完成原位拉伸臺的安裝培訓(xùn),以及SPT-20離子濺射儀、WT-DJ02電解拋光等制樣設(shè)備的安裝調(diào)試等工作。
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