主要特點(diǎn)

1、采用鈀合金過(guò)濾膜

2、對(duì)原料水要求不高，只需普通蒸餾水即可

3、不需要干燥劑(如：變色硅膠、分子篩等)

4、免維護(hù)

5、壓力及流量均采用一體化的控制

6、全自動(dòng)控制，設(shè)有水位、超壓等多種安全裝置

7、可滿足高精度氣相色譜儀、極譜儀、半導(dǎo)體外延、核物理實(shí)驗(yàn)等對(duì)超高純度氫氣的需求

技術(shù)參數(shù)

氫氣純度：99.99999%

氫氣流量：0-300ml/min

輸出壓力：0-0.6MPa

消耗功率：200W

壓力穩(wěn)定精度：優(yōu)于0.0001MPa