檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
超高純凈膜片式瓶閥是針對半導(dǎo)體行業(yè)共同研究開發(fā)的新產(chǎn)品。捷銳從英國引進(jìn)該項技術(shù)，為中國半導(dǎo)體行業(yè)提供了一項全新的產(chǎn)品，填補(bǔ)了目前市場的空白。
特性
- 有手動和氣動兩種閥，二者基于同一母體設(shè)計。
- 適用于大多數(shù)特種氣體，包括各種濃度的氧氣和高腐蝕性氣體如氯氣和氯化氫等。
- 在符合超高純標(biāo)準(zhǔn)的潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)制造，最終的裝配和測試是在10級無塵室中進(jìn)行。
- 針對有低泄漏率要求的高純氣體用戶設(shè)計。
- 每個閥門都采用氦氣質(zhì)譜儀檢測泄漏率。
- 膜片直接作用于閥座關(guān)閉閥門，光滑過渡的膜片設(shè)計可以將氣體流道死角減至最小。
- 閥座的特殊支撐和緊固設(shè)計，可以將高壓負(fù)載下閥座的變形量和背壓條件下閥座的提升量減至最小。
- 膜片為一體式無焊接結(jié)構(gòu)，有效隔離了氣體和機(jī)械運(yùn)動部件，提高了使用壽命。
- 為防止脫落的顆粒物污染，在氣體流道中不存在任何滑動，旋轉(zhuǎn)或摩擦部件。
- 進(jìn)氣口呈喇叭型，增強(qiáng)氣體流通，便于清潔和吹掃凈化。
- 進(jìn)出口端形式適合所有已知的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)；閥門也同樣適用于市場上各種流體。
- 手輪可用金屬絲鎖定。
- 執(zhí)行器能夠被鎖定在關(guān)閉位置，以防止運(yùn)輸過程中的震動，導(dǎo)致泄漏。
- 手動和氣動兩種形式均適合用標(biāo)準(zhǔn)閥門保護(hù)管帽。
- 出口端采用帶鏈條的管帽密封和保護(hù)。
- 閥門裝置包含提高安全性能的二次密封。
- 母體帶有“π”標(biāo)記表示通過歐盟的TPED認(rèn)證
技術(shù)說明
- 工作壓力：230bar (3300psi)
- 適用氣體：工業(yè)和特種氣體（包括有毒氣體和腐蝕氣體和氧氣）
- 孔徑：4mm
- CV值：0.3
- 工作溫度：-20至65°C
- 閥體泄漏率：1x10-9 mbar l/s (200bar He)
- 閥座泄漏率：小于1x10-8 mbar l/s (200bar He)
材料
- 母體：316L VAR stainless steel，Hastelloy C22，Monel，Nickel
- 閥座：PTCFE, Kynar 740, Vespel SP21 or Zytel 103 (Nylon)
- 膜片：Elgiloy
閥門氣體流道內(nèi)無任何潤滑。閥座選用氣體相容性最小的材料。有關(guān)材料選擇方面的問題請聯(lián)系我們。
執(zhí)行器說明
- 常閉設(shè)計的氣動執(zhí)行器通用于所有的鋼瓶閥。在驅(qū)動氣源供氣時閥門打開，在彈簧的作用下閥門關(guān)閉。旋轉(zhuǎn)閥套可以將閥門鎖定在關(guān)閉位置。
- 驅(qū)動壓力：5 to 8bar (70 to 120psi)
- 驅(qū)動介質(zhì)：空氣或氮?dú)?/li>
- 進(jìn)氣接口：1/8” NPT
- 結(jié)構(gòu)材料：不銹鋼，鎳鋁青銅和高硬度陽極化鋁合金
上海德倫氣體設(shè)備有限公司
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