檢測認證人脈交流通訊錄
- 1.儀器尺寸：450mm W x 350mm D x 175mm H
2.工作腔室：硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H
3.安全鐘罩：聚碳酸酯
4.重量：18公斤
5.靶：60 mm 直徑 x 0.1mm 厚(金作為標準靶面)
6.樣品臺直徑為60 mm，靶面距離40mm，具有傾斜裝置的旋轉臺
7.真空范圍：ATM-1x10-4 mbar
8.沉積電流范圍：0-50mA
9.沉積速率：0-25nm/分
10.濺射時間：0-4 分鐘
11.預設置針閥：控制氬
12.電源：230 伏 50Hz (10 amp max. including Pump)
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