能量分辨率：0.48eV/(Ag 3d5/2），0.68eV/(C 1s)（PET 上O-C=O 的C 1s） 最小分析區域（收譜） <10μm 靈敏度（Ag 3d5/2） ：大面積 11,800kcps (1.3eV ) 空間分辨率 (快速平行成像 )：小于3μm 空間分辨率(掃描成像)：15μm 和27μm。可以分析除氫、氦以外的所有元素，包括元素種類及價態。并可以提供測定元素相對含量的半定量分析。 廣泛應用于研究聚合物、無機化合物、有機化合物、催化劑、涂層材料、納米材料、礦石等各種材料。結合其它表征技術，可以對腐蝕、摩擦、潤滑、燃燒、粘接、催化、包覆、氧化等過程進行研究。最具有特色的是XPS可以測定元素的化學價態及化學環境的影響。 通過角分辨法及Ar離子剝離法可以提供元素深度分布信息。 主要用于固體樣品表面的組成，能進行定性、半定量分析。該儀器已對上海交通大學的材料科學與工程學院、化學化工學院、物理與天文系、機械與動力工程學院、電子信息與電氣工程學院、微納科學技術研究院、生命科學技術學院，農業與生物學院，藥學院，密西根學院及多家校外企事業單位提供了測試服務。該儀器在分析表面化學上的技術優勢，為上海交大在涂層材料、納米材料、催化劑、礦石材料學、醫藥等領域的研究提供了一定的分析檢測的技術支持。