檢測認證人脈交流通訊錄
- 勻膠機吸盤在旋涂過程中一般采用自轉式旋涂的方式來完成工藝。因此基片需要固定在旋轉吸盤上，通常采用的方法是真空吸附，所以吸盤的大小以及真空的強度兩者對基片吸附后產生的形變有一定的影響，如吸盤面積越小，吸附后產生的形變就越大,這時所旋涂的基片片內膜厚誤差會加大，且容易產生干涉花紋，通過實際驗證后得出：吸盤面積占所吸附基片面積的1/2~2/3為佳。
勻膠機的吸盤（英文名稱：chuck）又稱勻膠機載物盤，勻膠機托盤、真空托盤、勻膠機片托等。
根據勻膠機固定基片的方式不同又可細分為真空托盤和非真空托盤，而我們口中常說的“吸盤”便是采用真空吸附的方式，將基片吸附在真空托盤表面。由此而衍生的轉接托盤便是利用同心圓的原理來實現基片和電機旋轉的轉速達到一致.
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