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檢測認證人脈交流通訊錄
- 型號 XN-810
結構形式 六桿并聯式（hexapod）
驅動方式 壓電陶瓷驅動
運動自由度 X,Y,Z,θX,θY,θZ
負載能力 5kg
位移分辨率 ±2nm
線性度 0.5%F.S
直線定位精度
±20nm
旋轉定位精度 ±0.6μrad
固有頻率±20% 1250Hz
剛度 75N/μm
X軸行程范圍 ±18μm
Y軸行程范圍 ±18μm
Z軸行程范圍 ±9μm
θX行程范圍 ±0.4mrad
θY行程范圍 ±0.4mrad
θZ行程范圍 ±0.6mrad
重量 1320g
操作方式 開/閉環控制
控制器 XE-500/501模塊化控制器
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