檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
XP-853壓電驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭
- XP-853是將微米千分尺與高分辨率壓電致動(dòng)器結(jié)合的壓電驅(qū)動(dòng)微米千分尺，通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)大范圍的微米尺，行程范圍為13mm, 微米尺的分辨率是1μm，再通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長(zhǎng)，縮短到預(yù)定位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行高精度的細(xì)調(diào)節(jié)，行程范圍可達(dá)25μm, 壓電陶瓷運(yùn)動(dòng)的分辨率可達(dá)亞納米量級(jí)，這個(gè)壓電微米千分尺可以對(duì)元件的進(jìn)行遠(yuǎn)距離精密定位。
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