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ORION3100型潔凈室氣態(tài)分子污染物監(jiān)測儀

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ORION3100型潔凈室氣態(tài)分子污染物監(jiān)測儀產(chǎn)地：意大利ETG 簡介： ●適用于半導(dǎo)體制造行業(yè) ●實(shí)時(shí)超靈敏監(jiān)測氨，HCI，HF含量 ●快速高精度測量 ●不會(huì)使用到任何的放射物質(zhì)； ●多點(diǎn)分析，最大通道數(shù)可達(dá)16通道 ●便攜 ●無需校準(zhǔn) 深紫外（DUV）光刻工藝已經(jīng)被證明對許多種分子級別空氣污染物特別敏感，氨氣和酸性氣體會(huì)在整個(gè)生產(chǎn)區(qū)域產(chǎn)生問題。抗紫外材料、長壽命過濾器的使用并沒有減少對周圍環(huán)境空氣監(jiān)測的需求，事實(shí)上，環(huán)境空氣分子污染物的監(jiān)測顯得越來越重要。ORION 3100系統(tǒng)的測量原理基于CEAS（腔體增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)，有效延長空氣過濾器的使用壽命和減少故障出現(xiàn)次數(shù)。通過ETG HMI（人機(jī)交互界面）軟件，操作者可以實(shí)時(shí)對位于不同測量點(diǎn)的多臺(tái)氨，HCI，HF分析儀進(jìn)行控制。這個(gè)軟件專門為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)，主要用于深紫外光刻工藝環(huán)境空氣監(jiān)測。該軟件也可用于其它工業(yè)或?qū)嶒?yàn)室現(xiàn)場監(jiān)測，但是需要用到一臺(tái)或多臺(tái)CEAS分析儀實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)采樣。該軟件建立在Windows操作系統(tǒng)之上，采用交互控制報(bào)警，具有數(shù)據(jù)采集，歷史數(shù)據(jù)趨勢記錄和基本測量等功能。環(huán)境空氣中的污染物監(jiān)測對于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程起到越來越重要的作用。對于整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)來說，也提出了快速探測，快速發(fā)出警報(bào)，極低的探測極限，大的采樣區(qū)域，同時(shí)對多種氣體實(shí)現(xiàn)靈敏探測等要求。對于DUV光刻工藝來說，由于氨，胺類，NMP和酸類物質(zhì)會(huì)與化學(xué)增幅抗蝕劑發(fā)生反應(yīng)，不利于光刻進(jìn)程的進(jìn)行，因此能否對這些組分進(jìn)行有效的監(jiān)測對于整個(gè)光刻工藝起到至關(guān)重要的作用。傳統(tǒng)方法例如撞擊濾塵器，離子色譜，化學(xué)熒光法，分析速度太慢，操作過程太復(fù)雜，昂貴并且測量結(jié)果不精確。ETG采用CEAS技術(shù)，能夠快速探測得到氨，HCI，HF，SO2，VOC's含量，采用脈沖熒光法探測SO2，采用增強(qiáng)GC-FID探測VOC含量，是目前市場上最強(qiáng)大的半導(dǎo)體環(huán)境污染物監(jiān)測設(shè)備之一。 ORION 3100是一款多點(diǎn)監(jiān)測系統(tǒng)，能夠按順序?qū)怏w送入到分析儀或傳感器，完成濃度測量。ORION 3100可以輸出來自4-6臺(tái)分析儀或傳感器的數(shù)據(jù)，使用以太網(wǎng)，網(wǎng)絡(luò)傳輸協(xié)議，RS485/RS232或4-20mA模擬模塊。每一個(gè)分析儀內(nèi)置有一個(gè)電腦（Linux OS），支持將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)輸出，另外還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制。 CEAS原理：原理基于近紅外領(lǐng)域高靈敏度吸收測量CEAS。測量單元包括一個(gè)兩端采用高反射率鏡片密封的圓柱管。激光束經(jīng)過固態(tài)校準(zhǔn)器（FSR=2.00GHz）時(shí)會(huì)測量得到相對激光波長。為了保證清晰度，原本傳播到測量單元外的光束會(huì)經(jīng)過左側(cè)的腔鏡，被省略了。 CEAS技術(shù)相比于第一代CRDS技術(shù)（光腔衰蕩光譜）有很多優(yōu)勢。簡單來說，由于激光光束共振耦合到測量單元（對于光束是否對齊沒有要求）。 ORION 3100主要特色： ●實(shí)時(shí)ppb水平測量 ●采用CEAS技術(shù) ●整個(gè)運(yùn)行過程持續(xù)進(jìn)行，無需操作者照看，可以在惡劣有危險(xiǎn)的環(huán)境中使用 ●整個(gè)操作過程不會(huì)使用到溶劑，放射性物質(zhì)，紙帶，吸附劑以及其他安規(guī)的耗材等 ●長時(shí)間穩(wěn)定性； ●采用固態(tài)電子元件，組件不發(fā)生移動(dòng) ●為了保證更長的運(yùn)行時(shí)間，儀器幾乎免維護(hù)； ●每一臺(tái)監(jiān)測儀在出廠時(shí)你都會(huì)進(jìn)行校準(zhǔn)； ●可用于單組份或多組分測量； ●多點(diǎn)采樣，最多可達(dá)16通道； ●成程序化警報(bào)和故障繼電器； ●可程序化采樣順序； ●開放式通訊協(xié)議，更容易嵌入到已經(jīng)存在的系統(tǒng)中； ●發(fā)生電源中斷或者出現(xiàn)關(guān)機(jī)將不會(huì)發(fā)生數(shù)據(jù)損失； ●觸摸屏圖形顯示操作更簡單直觀； ●連接1/4"OD； ●管道：PFA，PVDF； ●單通道管線最大長度：80m； ●PC色彩VGA觸摸顯示屏，支持圖形顯示； ●可以采用遠(yuǎn)程控制軟件實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程可視化； ●信號(hào)輸出：RS232，以太網(wǎng)，可選：4-20mA，網(wǎng)絡(luò)通訊協(xié)議；

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王玉梁

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