伯東企業上海有限公司真空產品事業部

德國普發Pfeiffer渦輪分子泵Hipace 1000-2000 l/s

分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 產品優點： 1. 四種抽速，抽速為自1,000 至 2,000 l/s 2. 對于分子量較小氣體以及分子量較大氣體的高抽速 3. 適用各種工藝如刻蝕, 濺鍍, 要求，耐粉塵 4. 高氣流量，即使對于分子量較大的氣體 5. 集成的 TC 1200 驅動單元，可直接連接一般電源 6. 支援腐蝕氣體 7. 帶節氣閥門的集成密封氣體系統 8. 標準接口界面：RS-485 以及遠程控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供選擇 9. 符合 IP 54 防護標準，適用于工業應用環境 10. 符合 Semi S2 規范 11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 認證分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 適用領域： 1. 半導體生產 2. 真空爐 3. 質譜分析 4. 研發及化工行業 5. 玻璃及刀具鍍膜產品規格：型號連接尺寸 DN 抽速 l/s 壓縮比最高啟動壓強mbar 冷卻方式啟動時間重量進氣口出氣口氮氣N2 氦氣He 氫氣 H2 氮氣 N2 氮氣N2 min kg HiPaceTM 1200 200 40 1,250 1,300 1,100 >108 2 水冷 2.5 40 HiPaceTM 1500 250 40 1,450 1,350 1,150 >108 2 水冷 2.5 41 HiPaceTM 1800 200 40 1,450 1,650 1,700 >108 1.8 水冷 4 34 HiPaceTM 2300 250 40 1,900 2,050 1,850 >108 1.8 水冷 4 37

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張婷婷