檢測認證人脈交流通訊錄
- 阿迪克森磁懸浮渦輪分子泵
五大防腐特性
自動平衡系統
嵌入式75加熱系統
5軸控制
惰性氣體吹掃
逆向動力密封（適用于ATH400與ATH1300型）
高流量應用
ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是專為高壓、高流量的半導體工業以及其他薄鍍膜工藝而設計。
緊湊而現代的設計
可調節轉速以優化抽氣時的參數
高平均無故障時間
使用成本低
低噪音低振動
無需電池
應用
玻璃鍍膜
微處理系統加工
離子束矯正
電子顯微鏡
空間模擬腔
粒子加速器
半導體工藝(刻蝕, CVD, 離子插入)
鍍膜與薄鍍膜工藝
離子銑
以及許多研發實驗
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