檢測認證人脈交流通訊錄
俄歇電子能譜 (AES, Auger)
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對應法規：GB，ISO，ASTM
CNAS認可項目：是
- 俄歇電子能譜(AES、Auger)是一種利用高能電子束為激發源的表面分析技術. AES分析區域受激原子發射出具有元素特征的俄歇電子。
AES電子束可以掃描一塊或大或小的表面. 它也可以直接聚焦在小塊表面形貌上（半導體產業經常要求這樣）。聚焦電子束斑到10nm或更小的直徑使得AES成為小表面形貌元素分析的非常有用的工具。此外，它能夠在可調整的表面區域內柵蔽電子束從而控制分析區域的尺寸。 當用來與濺射離子源的結合時, AES能勝任大、小面積的深度剖面。 當與聚焦離子束(FIB)一起使用時,它對于截面分析是很有用的。
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